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集成電路用電子化學品制造關鍵技術通過鑒定

A-A+日期:2025-04-23來源:中國化工報    

日前,北京化工大學等多家單位完成的“高端化學品及集成電路用電子化學品制造關鍵技術研究與應用”項目,在北京通過了中國石油和化學工業聯合會(簡稱“中國石化聯”)組織的科技成果鑒定。記者了解到,北京化工大學教授李群生帶領團隊針對國家戰略需求,研發了高端化學品及集成電路用電子化學品制造關鍵技術,并成功實現產業化應用,成為科技創新和產業創新深度融合的典型案例。

據介紹,該項目在多個領域取得了一系列重大創新成果。根據鑒定意見,該項目建立了精餾塔內氣液兩相流的數學模型,研發了IP型高效填料和導向復合塔板,填料分離效率提高了37.5%~50%,塔板分離效率達到75%~85%;發明了反應除雜技術,利用紫外線光源將四氯化硅中極少量的三氯氫硅反應為四氯化硅,產品純度達到99.9999999%(9N級);開發了等離子反應合成技術,實現乙硅烷的定向合成,得到99.99999%(7N級)乙硅烷。

同時,該項目發明了精餾—連續多級逆流分布結晶技術,應用于對二氯苯-鄰二氯苯等分離,產品純度≥99.999%;開發了優化結構的雙載體吸附系統,與精餾及其他分離技術耦合,實現對雜質的深度脫除,生產出99.999999%(8N級)四氯硅烷;開發了高效抗雜質滲入技術,實現了電子化學品生產設備的超潔凈防護。其中,電子級氫氟酸單個金屬離子雜質含量降至5ppt以下,突破G5標準要求。

據了解,該項目不僅在科技創新方面屢獲突破,在產業化應用領域也收獲累累碩果。項目成果已在多家企業獲得廣泛應用,并生產出百余種產品,取得了顯著的經濟效益、社會效益和環境效益。

 

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