4月23日，多氟多“磷肥副產(chǎn)氟硅酸生產(chǎn)超純電子級(jí)氫氟酸關(guān)鍵技術(shù)及裝備”項(xiàng)目，通過由中國(guó)石油和化學(xué)工業(yè)聯(lián)合會(huì)組織的科技成果鑒定。鑒定委員會(huì)認(rèn)為，該技術(shù)整體達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平，氟硅酸制工業(yè)無水氟化氫聯(lián)產(chǎn)高品質(zhì)白炭黑技術(shù)部分達(dá)到國(guó)際領(lǐng)先水平。

超純電子級(jí)氫氟酸作為芯片制造行業(yè)不可替代的關(guān)鍵電子化學(xué)品，其關(guān)鍵技術(shù)和核心裝備被德日等少數(shù)化工企業(yè)掌握并長(zhǎng)期壟斷，嚴(yán)重制約著我國(guó)芯片產(chǎn)業(yè)的健康可持續(xù)發(fā)展，是亟待攻克的“卡脖子”技術(shù)。

面對(duì)國(guó)家重大戰(zhàn)略需求，多氟多經(jīng)過持續(xù)攻關(guān)，自主開發(fā)了以磷肥副產(chǎn)氟硅酸為原料生產(chǎn)工業(yè)無水氟化氫的氟硅酸—氨解—熱解循環(huán)耦合工藝，構(gòu)建氨、氟化鈉的閉路循環(huán)體系；開發(fā)了氟氣預(yù)氧化砷—反應(yīng)精餾—多級(jí)膜過濾純化生產(chǎn)超純電子級(jí)氫氟酸工藝體系，從工藝、裝備、環(huán)境、質(zhì)量控制等方面突破了痕量雜質(zhì)脫除關(guān)鍵技術(shù)；建成了首套磷肥副產(chǎn)氟硅酸生產(chǎn)萬(wàn)噸級(jí)超純電子級(jí)氫氟酸聯(lián)產(chǎn)高品質(zhì)白炭黑生產(chǎn)裝置。

據(jù)悉，超純電子級(jí)氫氟酸產(chǎn)品經(jīng)第三方單位檢測(cè)，優(yōu)于SEMI G5級(jí)標(biāo)準(zhǔn)。已經(jīng)成功應(yīng)用于國(guó)內(nèi)外高端芯片制造企業(yè)，進(jìn)入了韓國(guó)三星和LG供應(yīng)體系，成為臺(tái)積電在中國(guó)大陸唯一的電子級(jí)氫氟酸合格供應(yīng)商，成功實(shí)現(xiàn)進(jìn)口替代，有力支撐了我國(guó)電子材料和芯片行業(yè)的發(fā)展。

項(xiàng)目獲得授權(quán)專利23項(xiàng)，制定了《工業(yè)無水氟化氫》《工業(yè)高純氫氟酸》等6項(xiàng)國(guó)家與行業(yè)標(biāo)準(zhǔn)，承擔(dān)了國(guó)家產(chǎn)業(yè)振興和技術(shù)改造項(xiàng)目、國(guó)家綠色低碳技術(shù)攻關(guān)項(xiàng)目、國(guó)家產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)再造工程等重點(diǎn)專項(xiàng)6項(xiàng)，成為無機(jī)氟新材料領(lǐng)域的典范。

此外，鑒定委員會(huì)對(duì)項(xiàng)目技術(shù)路線、創(chuàng)新點(diǎn)、技術(shù)指標(biāo)等方面給出建議與意見，為下一步高質(zhì)量申報(bào)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)打下基礎(chǔ)。