國產化取得諸多進展

據中國電子氣體百人會會長、中船(邯鄲)派瑞特氣股份有限公司副董事長李紹波介紹，近年來的持續(xù)發(fā)力使我國在電子特氣國產化方面取得了諸多進展。

有關數據顯示，當前全球市場(集成電路)規(guī)模排名前十的電子特種氣體，我國已完成多種產品產業(yè)化布局，其中在8吋制程上我國電子特氣基本國產化(不含前驅體)。

“電子特氣是半導體產業(yè)的支撐材料。近年來，隨著技術的不斷進步，我國電子特氣的種類和產量增加明顯，進一步滿足了市場需求。”李紹波表示，在晶圓制造工藝中，所需電子氣體(含前驅體)共130余種，目前我國本地化供應市場的種類約為40%；顯示面板制造過程中所用到的各類電子氣體近30種，基本實現本地化供應；在光伏產業(yè)鏈中，電子特氣主要用在多晶硅、長晶和電池工藝環(huán)節(jié)，有18種之多，全部實現了國產化。

“根據行業(yè)統(tǒng)計，2023年前三季度，我國主要電子特氣企業(yè)銷售收入約36億元，利潤約6.3億元。2019年至2022年，我國電子特氣行業(yè)復合增長率維持在30%以上，雖然2023年受大環(huán)境影響需求有所下降，但相關機構預測我國境內電子特氣市場規(guī)模仍達198億元。”李紹波說。

市場需求與日俱增

在半導體材料中，電子氣體是僅次于大硅片的市場需求第二大品種。電子特氣在晶圓制造過程中占材料成本的14%左右，幾乎滲透到集成電路生產的每個環(huán)節(jié)，對集成電路的性能、集成度和成品率都有很大影響。

“從全球晶圓廠產能擴張情況看，根據IC Insights預測，2025年全球12寸晶圓廠預計從2020年的131座增加到170座，增長30%；12寸晶圓制造產能從650萬片增加到920萬片，增長42%，將帶動電子特氣產業(yè)發(fā)展。”李紹波分析說。

從主要下游光伏產業(yè)看，碳達峰、碳中和的發(fā)展目標給光伏產業(yè)注入了強心劑，刺激新增裝機需求高速增長。另外，我國在多晶硅、電池片、組件等規(guī)模上遙遙領先，持續(xù)的產業(yè)研發(fā)和技術創(chuàng)新，也將為電子特氣產業(yè)發(fā)展注入更多活力。

北方集成電路技術創(chuàng)新中心(北京)有限公司總經理康勁博士表示，近年來，我國半導體材料產業(yè)規(guī)模不斷壯大，自給能力逐漸增強，涌現出三氟化氮(NF?)、鉬及鋁合金靶等眾多具有國際競爭力的產品，國際市場占有率逐步提高。

據介紹，NF?在半導體加工、太陽能電池制造和顯示面板制造中得到廣泛應用，是微電子工業(yè)中優(yōu)良的等離子蝕刻、清洗氣體。“隨著集成電路、顯示面板、光伏企業(yè)產能擴充，NF?需求量將與日俱增。”中船(邯鄲)派瑞特種氣體股份有限公司副總經理王占衛(wèi)說。

高端化差異化是方向

盡管我國電子特氣產業(yè)化取得一定進展，市場需求也在穩(wěn)步提升，但仍面臨著產品同質化嚴重、低端產品過剩、高端產品缺乏的困境。

“整體來看，目前NF3在全球市場處于供過于求的狀態(tài)。”王占衛(wèi)表示，預計全球NF?市場總體需求量在3.6萬噸/年左右，而供應能力則為4.8萬噸/年。

王占衛(wèi)強調，盡管目前國內NF?產品同質化已較為嚴重，但多家廠商仍有擴充產能的計劃。據悉，目前，我國NF?產能達1.25萬噸/年，且還有0.6萬至1萬噸產能正在規(guī)劃中，這不利于行業(yè)良性發(fā)展。短期看，降低同質化，走差異化、高端化路線是NF?生產企業(yè)發(fā)展的路徑。

“在更高制程上，如前驅體、負壓鋼瓶等，我國電子特氣的供應保障能力有待提升。”李紹波強調，電子特氣的發(fā)展要以行業(yè)為牽引，以產品為中心，推進設計、裝備、材料和制造等各環(huán)節(jié)融合發(fā)展；同時依托國內大循環(huán)，引導促進國際大循環(huán)，以雙循環(huán)模式重塑產業(yè)鏈高質量發(fā)展。