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電容式（阻容法）濕度儀探頭的清洗方法和步驟如下：
①將探頭取出并擰開保護套；
②把探頭放人乙烷溶液中，輕輕轉動10min，如果知道探頭上具體的污染介質，可尋
找相應清洗液清洗；
③將探頭從清洗液中取出放入蒸館水中投泡10min；
④將探頭從蒸餾水中取出放人低溫干燥器內干燥2h干燥溫度為5℃左右；
⑤重復步驟②~④清洗保護套；
⑥將探頭裝上，并接上電纜，另取一基準探頭，與清洗過的探頭同時測量同一介質（例如測量空氣），比較兩者的讀數誤差；
⑦若兩者誤差較小（≤±2℃）， 則清洗過的探頭可繼續使用，否則，再按步驟②~④繼續清洗。
若多次清洗仍達不到要求，可將探頭返送生產廠家，重新標定或更換新探頭。
